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宋志棠
合作成果数：2
Fang, Wencheng
合作成果数：2
Li, Chengxing
合作成果数：2
Wang, Ruobing
合作成果数：2
Zheng, Jia
合作成果数：2

张家睿	硕士生
所在学院：	物质科学与技术学院
职务：	--
研究方向：
备注：	--

张家睿

科研成果

4	1311	285	1	0	1
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[1] Fang, Wencheng.,Zheng, Jia.,Zhang, Jiarui.,Li, Chengxing.,Wang, Ruobing.,...&Zhou, Xilin.(2023).300 mm integration of a scalable phase change material spacer by inductively coupled plasma etching.MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING,164.浏览/下载:298/1; 被引[WOS]:0; IF:4.2/3.9评论推荐收藏
[2] 张家睿. 相变存储器尺寸微缩的浸没式光刻工艺研究[D]. 上海. 上海科技大学. 2023-05-16.浏览/下载:41/0评论推荐收藏
[3] Zhang, Jiarui.,Fang, Wencheng.,Wang, Ruobing.,Li, Chengxing.,Zheng, Jia.,...&Zhou, Xilin.(2023).Nanoscale Phase Change Material Array by Sub-Resolution Assist Feature for Storage Class Memory Application.NANOMATERIALS,13(6).浏览/下载:947/284; 被引[WOS]:1; IF:4.4/4.7评论推荐收藏
[4] 张家睿,周智全,钟旻,等. 一种相变存储器光刻工艺优化方法. 2022-03-21.浏览/下载:25/0评论推荐收藏

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