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Song, Sannian
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宋志棠
中科院特聘教授
所在学院:
物质科学与技术学院
职务:
所长助理
研究方向:
相变存储器(中科院上海微系统与信息技术研究所研究员)
备注:
--
研究内容
新型相变材料,相变存储器的设计、工艺与测试,相变存储器的物理模拟,化学机械抛光,集成电路用磨料。
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