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1. 一种基于压电薄膜的双轴微反射镜 [557]
2. 7.5 GHz Near-Zero Temperature Coefficient of Frequency Lithium Nio.. [449]
3. 多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用 [437]
4. Dual-Axis MEMS Resonant Scanner Using 128(circle)Y Lithium Niobate.. [433]
5. LNOI Thin-Film Dual-Axis Resonant Micro-Mirror with E16 Torsional .. [410]
6. 一种e31压电驱动的双轴MEMS微射镜 [399]
7. LiNbO3 High Order Lamb Wave Resonators with Composite Plate Struct.. [384]
8. Dual-Axis MEMS Micro-Mirror Based On Lithium Niobate Thin-Film [324]
9. Design of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers using.. [273]
10. 基于铌酸锂薄膜的MEMS双轴微镜 [17]

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1. LiNbO3 High Order Lamb Wave Resonators with Composite Plate Struct.. [2]
2. 7.5 GHz Near-Zero Temperature Coefficient of Frequency Lithium Nio.. [2]
3. 一种基于压电薄膜的双轴微反射镜 [1]
4. Dual-Axis MEMS Resonant Scanner Using 128(circle)Y Lithium Niobate.. [1]
5. Dual-Axis MEMS Micro-Mirror Based On Lithium Niobate Thin-Film [1]
6. LNOI Thin-Film Dual-Axis Resonant Micro-Mirror with E16 Torsional .. [1]
7. 多电极驱动的高阶模式压电微机械超声换能器及应用 [1]