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2022 IEEE 16TH INTERNATION...(1)
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吴涛
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Xiaolan Zhong
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Xiaoxu Kang
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罗智方
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Ming Li
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聂冉
硕士生
所在学院:
信息科学与技术学院
职务:
--
研究方向:
备注:
--
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[1]
聂冉. 基于非晶硅的微测辐射热计的噪声研究[D]. 上海. 上海科技大学. 2023-05-11.
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[2]
Yaoqing Lu,Kangfu Liu,Yuxi Wang,et al. Lnoi Thin-film Dual-axis Resonant Micro-mirror With E16 Torsional Actuation[C]. Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc.Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc.2023-01-01,669-672.
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[3]
Xiaoxu Kang,Zhenghui Chu,Jiwei Liu,et al. Investigation Of Rs Sensitivity To Tilt Angle On 300mm High Current/ion Implanter[C]. 2022 Ieee 16th International Conference On Solid-state & Integrated Circuit Technology (icsict).2022-10-01.
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[4]
Nie, Ran,Shao, Shuai,Luo, Zhifang,Kang, Xiaoxu,&Wu, Tao.(2022).Characterization of Ferroelectric Al0.7Sc0.3N Thin Film on Pt and Mo Electrodes.
MICROMACHINES
,13(10).
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[5]
Xiaoxu Kang,Xiaolan Zhong,Zhangfa Chen,et al. Development And Characterization Of High Temperature Plasma Nitridation Process For Advanced Cmos Technology Application[C]. Proceedings Of International Conference On Asic.Ieee Computer Society.2021-10-01.
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