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LNOI Thin-Film Dual-Axis Resonant Micro-Mirror with E16 Torsional Actuation 会议论文
INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS INC., deu,Munich, 2023-01-15
作者:  Yaoqing Lu;  Kangfu Liu;  Yuxi Wang;  Ran Nie;  Tao Wu
Adobe PDF(2297Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/1  |  提交时间：2023/03/24
Dual-Axis MEMS Micro-Mirror Based On Lithium Niobate Thin-Film 会议论文
2022 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IEEE IUS), null,Venice,ITALY, OCT 10-13, 2022
作者:  Lu, Yaoqing;  Liu, Kangfu;  Wu, Tao
Adobe PDF(2757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/1  |  提交时间：2023/02/10
Design of Piezoelectric Micro-Actuators Based on LiNbO Thin Film 会议论文
PROCEEDINGS OF THE 16TH ANNUAL IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2021, Xiamen, China, April 25, 2021 - April 29, 2021
作者:  
Adobe PDF(975Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/2  |  提交时间：2021/12/03
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