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合作作者[TOP 5]
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张越
合作成果数:1
赵蔚然
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He, Yumei
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Li, Zhongliang
合作成果数:1
Luo, Hongxin
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张越
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张小威
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李中亮
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郑理
合作成果数:1
莫秋祺
博士生
所在学院:
物质科学与技术学院
职务:
--
研究方向:
备注:
--
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[1]
Zhao WR,Mo QQ,Zheng L,Li ZL,Zhang XW,&Yu YH.(2024).High-precision X-ray characterization for basic materials in modern high-end integrated circuit.
JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
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[2]
Xue, Lian,Si, Shangyu,Zhang, Haipeng,et al. X-ray Optics Development And Metrology At Shanghai Synchrotron Radiation Facility[C]. International Conference On Optical And Photonic Engineering (icopen 2023).2024-01-01.
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