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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [3]
作者
吴涛 [2]
费思涛 [1]
任豪 [1]
杜明野 [1]
文献类型
期刊论文 [3]
发表日期
2024 [1]
2022 [1]
2021 [1]
出处
APPLIED PH... [1]
IEEE ELECT... [1]
MICROMACHI... [1]
语种
英语 [3]
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Jiangsu Pr... [1]
Natural Sc... [1]
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Near-zero TCF 11.6-GHz lamb wave resonator based on 128°Y-cut LiNbO3
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2024, 卷号: 125, 期号: 21
作者:
Huang, Feixuan
;
Du, Mingye
;
Ma, Chen
;
He, Xi
;
Suo, Feiya
Adobe PDF(2260Kb)
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浏览/下载:292/4
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提交时间:2024/11/29
Aluminum compounds
Ion acoustic waves
Lithium compounds
Organoclay
Seismic waves
Shock waves
Ultrasonic waves
Bi-layer structure
High frequency HF
Lamb wave resonators
LiNbO 3
Lithium niobate
Near-zero temperature
Resonant frequency temperature coefficient
SiO 2
Temperature coefficient-of-frequency
Zero temperature coefficients
Advanced Surface Acoustic Wave Resonators on LiTaO3/SiO2/sapphire Substrate
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2022, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 1-1
作者:
Jinbo Wu
;
Shibin Zhang
;
Yang Chen
;
Pengcheng Zheng
;
Liping Zhang
Adobe PDF(3362Kb)
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收藏
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浏览/下载:440/0
|
提交时间:2022/09/16
Acoustic surface wave devices
Acoustic waves
Electromechanical coupling
Lithium compounds
Natural frequencies
Sawing
Shear flow
Substrates
Tantalum compounds
LiTaO
Parasitic surface conduction
RF loss
Sapphire substrates
Shear-horizontal modes
Surface acoustic wave resonators
Temperature coefficient-of-frequency
Xmlns:mml="
Xmlns:xlink="
Xmlns:xsi="
Temperature Characteristics of a Contour Mode MEMS AlN Piezoelectric Ring Resonator on SOI Substrate
期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: #VALUE!
作者:
Fei, Sitao
;
Ren, Hao
Adobe PDF(4732Kb)
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收藏
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浏览/下载:987/442
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提交时间:2021/04/01
MEMS AlN resonator
contour mode
heavily doped silicon
temperature coefficient of frequency (TCF)
cryogenic characteristics
Acoustic wave velocity
Acoustic wave velocity measurement
Aluminum nitride
Electrodes
III
V semiconductors
Natural frequencies
Silicon on insulator technology
Temperature
Thermal conductivity
Aluminum nitride (AlN)
Heavily doped silicons
High thermal conductivity
Microfabrication process
Silicon
on
insulators (SOI)
Temperature characteristic
Temperature coefficient of frequencies
Temperature hysteresis
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