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Heterogeneous integration of lithium tantalate thin film on quartz for high performance surface acoustic wave resonator 期刊论文
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2023, 卷号: 62, 期号: 1
作者:  Chen, Yang;  Wu, Jinbo;  Zhao, Xiaomeng;  Li, Zhongxu;  Ke, Xinjian
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AlN Hybrid-Coupled Resonators With High Acoustic Velocity Layer 会议论文
PROCEEDINGS OF THE 2020 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), Las Vegas, NV, SEP 07-11, 2020
作者:  Kangfu Liu;  Junrui Liang;  Tao Wu
Adobe PDF(628Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/1  |  提交时间：2022/11/08
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