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Characterization of Ferroelectric Al0.7Sc0.3N Thin Film on Pt and Mo Electrodes 期刊论文
MICROMACHINES, 2022, 卷号: 13, 期号: 10
作者:  Nie, Ran;  Shao, Shuai;  Luo, Zhifang;  Kang, Xiaoxu;  Wu, Tao
Adobe PDF(1091Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/1  |  提交时间：2022/11/08
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