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Morphology improvement of SiC trench by inductively coupled plasma etching using Ni/Al2O3 bilayer mask 期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2017, 卷号: 67, 页码: 104-109
作者:  Li, Jingjie;  Cheng, Xinhong;  Wang, Qian;  Zheng, Li;  Shen, Lingyan
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Dispersed SiC nanoparticles in Ni observed by ultra-small-angle X-ray scattering 期刊论文
JOURNAL OF APPLIED CRYSTALLOGRAPHY, 2016, 卷号: 49, 期号: 6, 页码: 2155-2160
作者:  Xie, R.;  Ilavsky, J.;  Huang, H. F.;  Zhou, X. L.;  Yang, C.
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