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High-accuracy mirror surface measurement using three scanning interferometric displacement sensors
会议论文
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, Nantong, China, October 12, 2024 - October 14, 2024
作者:
Adobe PDF(448Kb)
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提交时间：2024/12/27
Displacement measurement
Interferometers
Interferometry
Mirrors
Prisms
Strain measurement
Velocity measurement
Displacement sensor
High-accuracy
Interferometric displacement sensor
Interferometrics
Mirror metrology
Mirror surfaces
Motion errors
Optical Metrology
Surface height
X ray mirrors
Synchronous Imaging and Multimodal Fusion of Optical and Electromagnetic Measurements for Overlapping Defects Inspection
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL INFORMATICS, 2023, 卷号: PP, 期号: 99, 页码: 1-10
作者:
Na Zhang
;
Haoran Dong
;
Chaofeng Ye
Adobe PDF(1298Kb)
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提交时间：2023/07/21
Charge coupled devices
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Optical measurement
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