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Aluminum Scandium Nitride Lamb Wave Acoustic Delay Lines with Over 6% Fractional Bandwidth 会议论文
2023 22ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), Kyoto, Japan, 25-29 June 2023
作者:  Zhifang Luo;  Shuai Shao;  Chengkuo Lee;  Tao Wu
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Characterization of Ferroelectric Al0.7Sc0.3N Thin Film on Pt and Mo Electrodes 期刊论文
MICROMACHINES, 2022, 卷号: 13, 期号: 10
作者:  Nie, Ran;  Shao, Shuai;  Luo, Zhifang;  Kang, Xiaoxu;  Wu, Tao
Adobe PDF(1091Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/1  |  提交时间：2022/11/08
Sub-6dB Aluminum Scandium Nitride Acoustic Delay Lines 会议论文
2022 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IEEE IUS), null,Venice,ITALY, OCT 10-13, 2022
作者:  
Adobe PDF(1089Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：231/1  |  提交时间：2023/02/10
Design and Fabrication of LAMB Wave Resonator Based on 15% Scandium-Doped Aluminum Nitride Thin Film 会议论文
2021 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), ELECTR NETWORK, JUN 20-25, 2021
作者:  Shuai Shao;  Zhifang Luo;  Tao Wu
Adobe PDF(1109Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/1  |  提交时间：2021/11/05
Characterization of AlN and AlScN film ICP etching for micro/ nano fabrication 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2021, 卷号: 242
作者:  Luo, Zhifang;  Shao, Shuai;  Wu, Tao
Adobe PDF(3189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：446/0  |  提交时间：2021/06/04
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