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一种微机械加速度计 专利
申请号:CN202411760375.8,申请日期: 2025-03-14,类型:发明申请,状态:实质审查
发明人:  吴涛;  熊瑞宏
Adobe PDF(889Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:89/4  |  提交时间:2025/03/14
A miniaturized MEMS accelerometer with anti-spring mechanism for enhancing sensitivity 期刊论文
MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2025, 卷号: 11, 期号: 1
作者:  Xiong, Ruihong;  Xu, Xuankai;  Liu, Yushuai;  Du, Shihao;  Jin, Lihui
Adobe PDF(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:77/6  |  提交时间:2025/03/18
ALScN Lamb Wave Resonator Based on NbN Superconducting Electrode at Cryogenic Temperature 会议论文
2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025
作者:  Wenzhen Li;  Xuankai Xu;  Jiawei Li;  Peng Dong;  Yiwei Wang
Adobe PDF(2134Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:65/6  |  提交时间:2025/03/25
3.5 Ghz Thermo-Acoustic Phase Modulator Based on Z-Cut LiNbO3 Thin Film 会议论文
2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025
作者:  Xuankai Xu;  Yushuai Liu;  Ruihong Xiong;  Tao Wu
Adobe PDF(2551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:40/1  |  提交时间:2025/03/25
A Novel Near-Zero Stiffness Mems Accelerometer based on Dual Nonlinear Curved Beams Anti-Spring Mechanism 会议论文
2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025
作者:  Ruihong Xiong;  Lihui Jin;  Xuankai Xu;  Wenzhen Li;  Shihao Du
Adobe PDF(3318Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:47/1  |  提交时间:2025/03/25
基于几何反弹簧结构的高分辨率MEMS加速度计 期刊论文
仪表技术与传感器, 2023, 期号: 05, 页码: 5-9
作者:  熊瑞宏;  陈方;  李昕欣
Adobe PDF(492Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:304/4  |  提交时间:2023/11/24
无权访问的条目 学位论文
作者:  熊瑞宏
Adobe PDF(5550Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:126/2  |  提交时间:2023/04/24
基于几何反弹簧结构的高分辨MEMS加速度计 期刊论文
仪表技术与传感器, 2023, 期号: 5, 页码: 5-9
作者:  熊瑞宏;  陈方;  李昕欣
Adobe PDF(4489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/2  |  提交时间:2023/05/23
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