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| 一种微机械加速度计 专利 申请号:CN202411760375.8,申请日期: 2025-03-14,类型:发明申请,状态:实质审查 发明人: 吴涛 ; 熊瑞宏
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| A miniaturized MEMS accelerometer with anti-spring mechanism for enhancing sensitivity 期刊论文 MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2025, 卷号: 11, 期号: 1 作者: Xiong, Ruihong ; Xu, Xuankai ; Liu, Yushuai ; Du, Shihao; Jin, Lihui
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| ALScN Lamb Wave Resonator Based on NbN Superconducting Electrode at Cryogenic Temperature 会议论文 2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025 作者: Wenzhen Li ; Xuankai Xu ; Jiawei Li ; Peng Dong ; Yiwei Wang
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| 3.5 Ghz Thermo-Acoustic Phase Modulator Based on Z-Cut LiNbO3 Thin Film 会议论文 2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025 作者: Xuankai Xu ; Yushuai Liu ; Ruihong Xiong ; Tao Wu
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| A Novel Near-Zero Stiffness Mems Accelerometer based on Dual Nonlinear Curved Beams Anti-Spring Mechanism 会议论文 2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025 作者: Ruihong Xiong ; Lihui Jin ; Xuankai Xu ; Wenzhen Li ; Shihao Du
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| 基于几何反弹簧结构的高分辨率MEMS加速度计 期刊论文 仪表技术与传感器, 2023, 期号: 05, 页码:
5-9 作者: 熊瑞宏 ; 陈方; 李昕欣
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 熊瑞宏
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| 基于几何反弹簧结构的高分辨MEMS加速度计 期刊论文 仪表技术与传感器, 2023, 期号: 5, 页码:
5-9 作者: 熊瑞宏 ; 陈方; 李昕欣
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