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| 一种微机械加速度计 | |
| 申请号 | CN202411760375.8 |
| 2025-03-14 | |
| 公开（公告）号 | CN119619549A |
| 公开日期 | 2025-03-14 |
| 摘要 | 本发明提供一种微机械加速度计，包括：至少四个固定锚点，固定锚点整体形成矩形，且位于矩形的四个顶点处；惯性质量模块，位于矩形的中间位置且与所有固定锚点分别连接；多个弹性连接模块，分别连接于惯性质量模块与固定锚点之间；以及多个检测电容模块，设置于惯性质量模块上，用于检测惯性质量模块的位移；其中，位于同一侧的两个固定锚点接入正电压，位于另一侧的两个固定锚点接入负电压，或，其中一组位于对角线位置的固定锚点接入正电压，其中另一组位于对角线位置的固定锚点接入负电压，所述正电压和所述负电压的幅值相等；固定锚点、弹性连接模块以及惯性质量模块形成通路。本发明结构紧凑，能够显著提高电容式微机械加速度计的灵敏度。 |
| 当前权利人 | 上海科技大学 |
| 专利代理人 | 胡雨 |
| 代理机构 | 上海汉之律师事务所 31378 |
| 专利申请人 | 上海科技大学 |
| 公开国别 | 中国 |
| 公开国别简称 | CN |
| IPC 分类号 | G01P15//08; G01P15//125 |
| 专利有效性 | 审中 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 专利类型字典 | 1 |
| 当前法律状态 | 实质审查 |
| 简单同族 | CN119619549A |
| 扩展同族 | CN119619549A |
| INPADOC 同族 | CN119619549A |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/497032 |
| 专题 | 信息科学与技术学院_PI研究组_吴涛组 信息科学与技术学院_博士生 |
| 作者单位 | 上海科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴涛,熊瑞宏. 一种微机械加速度计. CN202411760375.8[P]. 2025-03-14. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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