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一种超声波指纹传感器、电子设备及方法 | |
申请号 | CN202410632688.9 |
2024-08-09 | |
公开(公告)号 | CN118470757A |
公开日期 | 2024-08-09 |
摘要 | 本发明属于超声指纹传感器技术领域,具体涉及一种超声波指纹传感器、电子设备及方法,超声波指纹传感器包括:基板,基板包括多个传感器电路;超声波单元,设置在基板的第一表面,并与传感器电路电连接;超声波单元包括铁电层;各超声波单元的铁电层由一块完整的铁电材料层经刻蚀工艺分隔而成,铁电材料层在刻蚀之前完成极化操作。由于刻蚀前铁电材料覆盖整个基板电路且拥有整块上、下电极,可以通过外部电路对整片加压极化,因此能够有效防止损害基板电路并实现均匀极化;本发明在沟槽内设置填充层,能够对压电结构进行有效的机械支撑,以提高其结构的稳定性,避免铁电层在后续研磨加工和传感器的使用过程中出现损伤。 |
当前权利人 | 上海科技大学 |
专利代理人 | 吴向青 |
代理机构 | 上海汉之律师事务所 31378 |
专利申请人 | 上海科技大学 |
公开国别 | 中国 |
公开国别简称 | CN |
IPC 分类号 | G06V40//13 |
专利有效性 | 审中 |
专利类型 | 发明申请 |
专利类型字典 | 1 |
当前法律状态 | 实质审查 |
简单同族 | CN118470757A |
扩展同族 | CN118470757A |
INPADOC 同族 | CN118470757A |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/407368 |
专题 | 信息科学与技术学院_PI研究组_吴涛组 信息科学与技术学院_博士生 |
作者单位 | 上海科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴涛,蔡俊翔. 一种超声波指纹传感器、电子设备及方法. CN202410632688.9[P]. 2024-08-09. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 |
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