基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器
申请号CN202211459754.4
2023-03-07
公开(公告)号CN115765672A
公开日期2023-03-07
摘要

本发明涉及一种基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器,包括横向作用力结构和纵向作用力结构,包括压电薄膜构成的压电层、激励线圈和接收电极、衬底、刻蚀孔;该压电层经由锚点悬挂在衬底上,压电层下方为衬底凹槽构成的空腔;空腔上压电层四周为刻蚀孔;刻蚀孔和空腔用于限定的作用力区域。压电层的材质为的氮化铝、铌酸锂、钽酸锂压电材料中一种或数种,激励线圈和感应电极均为金属,激励线圈在磁电作用下产生的作用力在压电层进行转化,接收电极对机械力转换的电能进行收集。本发明无源电子回转器尺寸与声学滤波器相当,为数十微米至数千微米,实现了微型化;不需要外部供电,非线性效应极低,实现了无源、高度非线性。

当前权利人上海科技大学
专利代理人翁若莹 ; 徐颖
代理机构上海申汇专利代理有限公司 31001
专利申请人上海科技大学
公开国别CN
公开国别简称CN
IPC 分类号H03H9//00 ; H03H9//17 ; H03H9//22 ; H03H9//13 ; H03H9//135
专利有效性审中
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态实质审查
简单同族CN115765672A
扩展同族CN115765672A
INPADOC 同族CN115765672A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/281912
专题信息科学与技术学院_PI研究组_吴涛组
信息科学与技术学院_博士生
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
吴涛,刘康福. 基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器. CN202211459754.4[P]. 2023-03-07.
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基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子(644KB)专利 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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