一种InP基超宽光谱光电探测器及其制备方法
申请号CN202210309182.5
2022-07-29
公开(公告)号CN114823947A
公开日期2022-07-29
摘要本发明提供一种InP基超宽光谱光电探测器及其制备方法。本发明采用AlAsSb和InAlAs或者InP做电子阻挡层和过渡层可以将光电探测器的测试波长延伸至可见光和紫外波段,采用InGaAs体材料和InGaAs//GaAsSb二类超晶格材料作为半导体光电探测器的吸收层,可将光电探测器的测试波长延伸至近红外和延长短波红外波段。当形成的电子基态能级与空穴基态能级之差小于延长短波红外波长的光子对应的能量时,就能吸收延长短波红外波长的光,从而实现对延长短波红外波段的覆盖。该光电探测器采用晶格匹配于InP衬底的InGaAs//GaAsSb二类超晶格作为吸收区,相对于高铟成分晶格失配InGaAs延长短波红外探测器,具有更低暗电流,单片集成的优势。
当前权利人上海科技大学
专利代理人翁若莹 ; 柏子雵
代理机构上海申汇专利代理有限公司 31001
专利申请人上海科技大学
公开国别中国
公开国别简称CN
IPC 分类号H01L31//0352; H01L31//0304; H01L31//0336; H01L31//109; H01L31//18
专利有效性有效
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态授权
授权公告日2025-02-18
授权公开(公告)号CN114823947B
简单同族CN114823947A
扩展同族CN114823947A
INPADOC 同族CN114823947A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/206376
专题信息科学与技术学院_PI研究组_陈佰乐组
信息科学与技术学院_博士生
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
陈佰乐,王景熠. 一种InP基超宽光谱光电探测器及其制备方法. CN202210309182.5[P]. 2022-07-29.
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