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Emulation of synchrotron radiation high-resolution actinic review for EUV mask 期刊论文
HE JISHU/NUCLEAR TECHNIQUES, 2025, 卷号: 48, 期号: 3, 页码: 43-53
作者:  Su, Zijing;  Liu, Haigang;  Meng, Xiangyu;  Zhang, Xiangzhi;  Zhao, Bo
Adobe PDF(2572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：7/1  |  提交时间：2025/04/25
Computational Study of Organotin Oxide Systems for Extreme Ultraviolet Photoresist 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A, 2025, 卷号: 129, 期号: 5, 页码: 1420-1428
作者:  Li, Jingbin;  Wang, Zhefeng;  Wang, Han
Adobe PDF(3285Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：59/10  |  提交时间：2025/02/12
The design of high-brightness ERL-FEL injector based on VHF electron gun 期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS AND METHODS IN PHYSICS RESEARCH, SECTION A: ACCELERATORS, SPECTROMETERS, DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2025, 卷号: 1070
作者:  Chen, Xiuji;  Liu, Zipeng;  Chen, Si;  Huang, Xuan;  Gu, Duan
Adobe PDF(3656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/2  |  提交时间：2024/11/29
Generation of continuous extreme ultraviolet laser 期刊论文
KEXUE TONGBAO/CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2024, 卷号: 69, 期号: 28-29, 页码: 4209-4217
作者:  Hong, Daobiao;  Liu, Zhonghao;  Qiao, Shan
Adobe PDF(4639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：436/80  |  提交时间：2024/10/25
Experimental study of the dynamics and extreme ultraviolet radiation of laser produced colliding Sn plasmas 期刊论文
PHYSICS OF PLASMAS, 2024, 卷号: 31, 期号: 4
作者:  Wu, Yaoxing;  Wang, Xinbing;  Ray, Tyler;  Thio, Yong Chia Francis;  Hassanein, Ahmed
Adobe PDF(3204Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：218/0  |  提交时间：2024/05/11
Latest developments in EUV photoresist evaluation capability at Shanghai Synchrotron Radiation Facility 期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2023, 卷号: 34, 期号: 12
作者:  Li, Zhen-Jiang;  Qi, Cheng-Hang;  Li, Bei-Ning;  Yang, Shu-Min;  Zhao, Jun
Adobe PDF(2516Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：234/1  |  提交时间：2023/12/22
Generation of collimated extreme ultraviolet radiation by single-photon process 期刊论文
OPTICS COMMUNICATIONS, 2023, 卷号: 545
作者:  Hong, Daobiao;  Xiang, Bingke;  Wu, Tong;  Liu, Zhonghao;  Tao, Zhensheng
Adobe PDF(741Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：854/260  |  提交时间：2023/07/07
High-performance transparent conductive film by using ultra-thin metal grids 期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2022, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Yin, Zhiqin;  Liu, Qingquan;  Cui, Zhuangzhuang;  Xuan, Zhiyi;  Xie, Maobing
Adobe PDF(1297Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/0  |  提交时间：2022/02/14
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