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信息科学与技术学院 [1]
作者
吴涛 [1]
刘康福 [1]
蔡俊翔 [1]
文献类型
会议论文 [1]
发表日期
2021 [1]
出处
PROCEEDING... [1]
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英语 [1]
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Increasing Ranging Accuracy of Aluminum Nitride Pmuts by Circuit Coupling
会议论文
PROCEEDINGS OF THE IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Virtual, Gainesville, FL, United states, January 25, 2021 - January 29, 2021
作者:
Junxiang Cai
;
Kangfu Liu
;
Liang Lou
;
Songsong Zhang
;
Yuandong Alex Gu
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浏览/下载：387/2
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提交时间：2021/12/03
Aluminum nitride
Distance measurement
Mechanics
Piezoelectricity
Timing circuits
Ultrasonic applications
Ultrasonic transducers
Coupling signals
Distance measuring
Half wavelength
High
precision
Micro
machined ultrasonic transducer
Piezoelectric response
Ranging accuracy
Aluminum Nitride
PMUT
rangefinder
circuit coupling
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