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In Situ Synchrotron XRD Characterization of Piezoelectric Al1−xScxN Thin Films for MEMS Applications 期刊论文
MATERIALS;, 2023, 卷号: 16, 期号: 5
作者:  Jiang, Wenzheng;  Zhu, Lei;  Chen, Lingli;  Yang, Yumeng;  Yu, Xi
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An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate 会议论文
18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2023, Jeju, Korea, May 14, 2023 - May 17, 2023
作者:  Xianzheng Lu;  Hao Ren
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Electronic-Nose: An Array of 16 MOS-Gas Sensors Integrated With Temperature and Moisture Sensing Capabilities 会议论文
INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS INC., deu,Munich, 2023-01-15
作者:  Xiawei Yue;  Shuai Wei;  Pingping Zhang;  Zhitao Zhou;  Tiger H. Tao
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Double-Deck Metal Solenoids 3D Integrated in Silicon Wafer for Kinetic Energy Harvester 期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 1, 页码: #VALUE!
作者:  Wang, Nianying
Adobe PDF(4631Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：680/269  |  提交时间：2021/04/01
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