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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [1]
作者
吴涛 [1]
刘康福 [1]
陆瑶卿 [1]
文献类型
会议论文 [1]
发表日期
2022 [1]
出处
2022 IEEE ... [1]
语种
英语 [1]
资助项目
Lingang La... [1]
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收录类别
CPCI-S [1]
状态
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Dual-Axis MEMS Micro-Mirror Based On Lithium Niobate Thin-Film
会议论文
2022 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IEEE IUS), null,Venice,ITALY, OCT 10-13, 2022
作者:
Lu, Yaoqing
;
Liu, Kangfu
;
Wu, Tao
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浏览/下载：336/1
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提交时间：2023/02/10
Dual-axis micro-mirror
lithium niobate
LNOI
high deflection
slow scanning mode
fast scanning mode
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