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Fabrication of ultra-high-Q Ta2O5 microdisks by photolithography-assisted chemo-mechanical etching
期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2024, 卷号: 32, 期号: 17, 页码: 29566-29572
作者:
Li, Minghui
;
Zhao, Guanghui
;
Lin, Jintian
;
Gao, Renhong
;
Guan, Jianglin
Adobe PDF(2737Kb)
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收藏
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浏览/下载:298/5
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提交时间:2024/09/06
Dry etching
Microlenses
Photolithography
Tantalum oxides
High nonlinear
Loaded Q
Mechanical etching
Microdisks
Nonlinear refractive index
Photonic integrations
Property
Q-factors
Tantalum pentoxide
Ultra-high
Study on dark current suppression of HgCdTe avalanche photodiodes for low flux photon detection
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2024, 卷号: 124, 期号: 22
作者:
Xie, Hao
;
Guo, Huijun
;
Shen, Chuan
;
Yang, Liao
;
Chen, Lu
Adobe PDF(2172Kb)
|
收藏
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浏览/下载:409/59
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提交时间:2024/06/17
Atomic layer deposition
Avalanche photodiodes
Cadmium alloys
Dark currents
Dry etching
Electric fields
Infrared radiation
Mercury amalgams
Photons
Semiconductor alloys
Signal to noise ratio
Wet etching
Dark current densities
Device gains
Excess noise
Integrated circuit noise
Low flux
Mid-wavelength infrared
Noise equivalent photons
Performance
Photon detection
Readout integrated circuits
The Impact of Manufacturing Imperfections on the Performance of Metalenses and a Manufacturing-Tolerant Design Method
期刊论文
MICROMACHINES, 2022, 卷号: 13, 期号: 9
作者:
Zhu, Yicheng
;
Wang, Wenjuan
;
Yu, Feilong
;
Liu, Qingquan
;
Guo, Zilu
Adobe PDF(6617Kb)
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浏览/下载:2104/1324
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提交时间:2022/10/08
optoelectronic integrated devices
metalens
dry etching
Patterning of Wafer-Scale MXene Films for High-Performance Image Sensor Arrays
期刊论文
ADVANCED MATERIALS, 2022
作者:
Li, Bo
;
Zhu, Qian-Bing
;
Cui, Cong
;
Liu, Chi
;
Wang, Zuo-Hua
Adobe PDF(3617Kb)
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浏览/下载:323/0
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提交时间:2022/04/02
Carbides
Dry etching
Image sensors
Photodetectors
Silicon wafers
Transition metals
Image sensor array
Mxene photodetector
Mxenes
Patterning methods
Patterning technology
Performance
Transition metal nitrides
Transition metals carbides
Wafer scale
Wafer-scale patterning technology
Characterization method of PN junction region expansion in HgCdTe device
期刊论文
红外与毫米波学报, 2017, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 54-59
作者:
Weng Bin
;
Zhou Song-Min
;
Wang Xi
;
Chen Yi-Yu
;
Li Hao
Adobe PDF(2335Kb)
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提交时间:2017/07/04
HgCdTe
laser beam induced current
I-V test
Boron ion implantation
dry etching
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