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Al0.7Sc0.3N butterfly-shaped laterally vibrating resonator with a figure-of-merit (kt2·qm) over 146 期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2022, 卷号: 120, 期号: 17
作者:  Luo, Zhifang;  Shao, Shuai;  Liu, Kangfu;  Lu, Yuan;  Mazzalai, Andrea
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Lamb Wave Resonators based on Co-sputtered Al0.78Sc0.22N Thin Film 会议论文
IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM, IUS, Virtual, Online, China, September 11, 2011 - September 16, 2011
作者:  Luo, Zhifang;  Shao, Shuai;  Wu, Tao
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