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300 mm integration of a scalable phase change material spacer by inductively coupled plasma etching
期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2023, 卷号: 164
作者:
Fang, Wencheng
;
Zheng, Jia
;
Zhang, Jiarui
;
Li, Chengxing
;
Wang, Ruobing
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提交时间:2023/07/07
Efficiency
Inductively coupled plasma
Phase change materials
Phase change memory
Physical vapor deposition
Plasma etching
Anisotropic plasma etching
Aspect-ratio
Confined structures
Conformal deposition
Deposition technique
Heating efficiencies
Inductively coupled plasma etching
Phase-change memory
Physical vapour deposition
Reset currents
How to obtain high monolayer content in liquid phase exfoliation of graphene: A molecular dynamic simulation
期刊论文
JOURNAL OF MOLECULAR LIQUIDS, 2023, 卷号: 382
作者:
Cai, Lu
;
Tan, Guangsu
;
Jing, Xiaohan
;
Wu, Yanguang
;
Liu, Zhitian
Adobe PDF(4551Kb)
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提交时间:2023/05/12
Chemical vapor deposition
Graphene
Monolayers
Shear flow
Solvents
Chemical vapour deposition
Dynamic process
Dynamics simulation
Efficient path
Liquid Phase
Liquid phase exfoliation
Liquid phasis
Molecular dynamic simulation
Monolayer content
Shear force
Incorporating Binary Metal Oxides in Poly(ethylene oxide)-Based Solid Electrolytes by Vapor Phase Infiltration
期刊论文
ACS APPLIED MATERIALS AND INTERFACES, 2023, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 5317-5325
作者:
Bao, Wenda
;
Zhang, Yue
;
Shang, Rongliang
;
Cong, Fufei
;
Zhao, Haojie
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提交时间:2023/03/10
Alumina
Aluminum oxide
Atomic layer deposition
Ethylene
Filled polymers
II-VI semiconductors
Morphology
Polyelectrolytes
Solid electrolytes
Zinc oxide
Binary metal oxides
Composite solid polymer electrolyte
Composite solids
Poly(ethylene oxide)
Poly(ethylene) oxide
Polymer-filler- Interaction
Solid polymer electrolytes
Vapor Phase
Vapor phase infiltration
Vapor phasis
Vapour-phase
Vapor phase infiltration of ZnO quantum dots for all-solid-state PEO-based lithium batteries
期刊论文
ENERGY STORAGE MATERIALS, 2021, 卷号: 43, 页码: 258-265
作者:
Bao, Wenda
;
Zhao, Lianqi
;
Zhao, Haojie
;
Su, Longxing
;
Cai, Xincan
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提交时间:2022/01/28
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