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High-accuracy mirror surface measurement using three scanning interferometric displacement sensors 会议论文
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, Nantong, China, October 12, 2024 - October 14, 2024
作者: Wang, Jiezhuo; Zhou, Guang; Lei, Weizheng; Dong, Xiaohao; Wang, Jie

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收藏 | 浏览/下载：103/5 | 提交时间：2024/12/27

Displacement measurement Interferometers Interferometry Mirrors Prisms Strain measurement Velocity measurement Displacement sensor High-accuracy Interferometric displacement sensor Interferometrics Mirror metrology Mirror surfaces Motion errors Optical Metrology Surface height X ray mirrors

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