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A miniaturized MEMS accelerometer with anti-spring mechanism for enhancing sensitivity
期刊论文
MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2025, 卷号: 11, 期号: 1
作者:
Xiong, Ruihong
;
Xu, Xuankai
;
Liu, Yushuai
;
Du, Shihao
;
Jin, Lihui
Adobe PDF(2020Kb)
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收藏
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浏览/下载：59/5
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提交时间：2025/03/18
Sensitivity analysis
Springs (components)
Bias instability
Curved beams
Force and displacements
MEMS accelerometer
Noise floor
Noise performance
Parallel configuration
Performance
Softening effect
Spring mechanism
A Novel Near-Zero Stiffness Mems Accelerometer based on Dual Nonlinear Curved Beams Anti-Spring Mechanism
会议论文
2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025
作者:
Ruihong Xiong
;
Lihui Jin
;
Xuankai Xu
;
Wenzhen Li
;
Shihao Du
收藏
|
浏览/下载：23/0
|
提交时间：2025/03/25
Curved beams and girders
Earthquakes
Integrated circuit design
Microchannels
Seismic waves
Structural dynamics
Anti-spring
Compression force
Curved beams
Experimental system
High-precision
MEMS accelerometer
Proof mass
Spring mechanism
Stiffness reduction
Zero stiffness
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