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Efficient Bilevel Source Mask Optimization
会议论文
PROCEEDINGS - DESIGN AUTOMATION CONFERENCE, San Francisco, CA, United states, June 23, 2024 - June 27, 2024
作者:
Chen, Guojin
;
He, Hongquan
;
Xu, Peng
;
Geng, Hao
;
Yu, Bei
Adobe PDF(2933Kb)
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浏览/下载：204/32
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提交时间：2024/12/27
Advanced technology
Alternating optimizations
Bilevel
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