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High Round-Trip Gain Piezoelectric-Capacitive Hybrid Micromachined Ultrasonic Transducer Based on Anodic Bonding Technology 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2025, 卷号: PP, 期号: 99
作者:  Yan Wang;  Weijing Xu;  Ning Lv;  Tao Wu;  Jia Zhou
Adobe PDF(25070Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：36/1  |  提交时间：2025/03/31
Direct In- and Out-of-Plane Writing of Metals on Insulators by Electron-Beam-Enabled, Confined Electrodeposition with Submicrometer Feature Size 期刊论文
SMALL METHODS, 2024, 卷号: 8, 期号: 7
作者:  Nydegger, Mirco;  Wang, Zhu-Jun;  Willinger, Marc Georg;  Spolenak, Ralph;  Reiser, Alain
Adobe PDF(2397Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：212/1  |  提交时间：2024/01/19
Temperature Characteristics of a Contour Mode MEMS AlN Piezoelectric Ring Resonator on SOI Substrate 期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: #VALUE!
作者:  Fei, Sitao;  Ren, Hao
Adobe PDF(4732Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1004/457  |  提交时间：2021/04/01
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