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Precision fabrication of diamond micro-optic elements with hybrid SiO2/Cr etching masks 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2022, 卷号: 262
作者:  Yang, Zhiqi;  Zhu, Ruixue;  Zhang, Kaiyu;  Yang, Xiaowei;  Liu, Xing
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Fabrication of none-opposite-deposited micro-structure on diamond with the SiO2/Cr bilayer mask 会议论文
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, Shanghai, China, October 28, 2021 - October 31, 2021
作者:  Yang, Zhiqi;  Liu, Xing;  Weng, Tsu-Chien
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Characterization of AlN and AlScN film ICP etching for micro/ nano fabrication 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2021, 卷号: 242
作者:  Luo, Zhifang;  Shao, Shuai;  Wu, Tao
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Morphology improvement of SiC trench by inductively coupled plasma etching using Ni/Al2O3 bilayer mask 期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2017, 卷号: 67, 页码: 104-109
作者:  Li, Jingjie;  Cheng, Xinhong;  Wang, Qian;  Zheng, Li;  Shen, Lingyan
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