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研究单元&专题
物质科学与技术学院 [1]
作者
黄政仁 [1]
刘盟 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2022 [1]
出处
CERAMICS I... [1]
语种
英语 [1]
资助项目
National K... [1]
Research i... [1]
资助机构
收录类别
EI [1]
SCI [1]
状态
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Preparation of high-purity SiC ceramics with good plasma corrosion resistance by hot-pressing sintering
期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2022, 卷号: 48, 期号: 20
作者:
Liu, Meng
;
Liu, Huan
;
Ma, Ningning
;
Liu, Yingying
;
Liu, Xuejian
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提交时间：2022/07/25
Additives
Corrosion resistance
Hot pressing
Semiconductor device manufacture
Sintering
Thermal conductivity
Wide band gap semiconductors
Ceramic devices
High purity
High thermal conductivity
High-purity SiC
Hot pressing sintering
HP sintering
Plasma corrosion resistance
Property
Semiconductor industry
SiC ceramics
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