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物质科学与技术学院 [3]
大科学中心 [1]
作者
王腾 [1]
宋超 [1]
王玲玲 [1]
张家睿 [1]
文献类型
期刊论文 [3]
发表日期
2023 [1]
2022 [2]
出处
JOURNAL OF... [1]
MATERIALS ... [1]
SUPERCONDU... [1]
语种
英语 [3]
资助项目
National N... [1]
Science an... [1]
Shanghai P... [1]
Strategic ... [1]
资助机构
收录类别
EI [3]
SCI [1]
SCIE [1]
状态
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300 mm integration of a scalable phase change material spacer by inductively coupled plasma etching
期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2023, 卷号: 164
作者:
Fang, Wencheng
;
Zheng, Jia
;
Zhang, Jiarui
;
Li, Chengxing
;
Wang, Ruobing
Adobe PDF(9718Kb)
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浏览/下载:324/1
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提交时间:2023/07/07
Efficiency
Inductively coupled plasma
Phase change materials
Phase change memory
Physical vapor deposition
Plasma etching
Anisotropic plasma etching
Aspect-ratio
Confined structures
Conformal deposition
Deposition technique
Heating efficiencies
Inductively coupled plasma etching
Phase-change memory
Physical vapour deposition
Reset currents
Low temperature preparation of W-doped In2O3 transparent electrodes for p-i-n structured perovskite solar cells
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2022, 卷号: 926
作者:
Song, Chao
;
Jiang, Lubing
;
Shi, Jianhua
;
Du, Weijie
;
Zhang, Liping
Adobe PDF(2281Kb)
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浏览/下载:367/2
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提交时间:2022/09/09
Conducting polymers
Deposition
Film preparation
Indium compounds
Infrared devices
Open circuit voltage
Oxygen
Perovskite
Perovskite solar cells
Temperature
Tin compounds
Work function
150 ° C
Deposition technique
High work function
ITO films
Low temperature preparation
Oxygen partial pressure
P-i-n structure
Reactive plasma depositions
Transparent electrode
W-doped in2O3
Evolution of the upper critical field and superconducting vortex phase with thickness in PLD-grown Ta films
期刊论文
SUPERCONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2022, 卷号: 35, 期号: 5
作者:
Liu, Yixin
;
Zhang, Han
;
Han, Xiaowen
;
Wang, Teng
;
Wang, Lingling
Adobe PDF(3582Kb)
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浏览/下载:181/1
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提交时间:2024/04/12
Alumina
Aluminum oxide
Anisotropy
Film growth
Film thickness
Pulsed laser deposition
Superconducting transition temperature
Thin films
Vortex flow
Film-thickness
Growth properties
High quality
Pulsed-laser deposition technique
Superconducting properties
Superconducting vortices
Ta films
Upper critical fields
Uppercritical fields
Vortex phase diagram
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