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物质科学与技术学院 [1]
作者
于奕 [1]
陈瑜 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2024 [1]
出处
ADVANCED M... [1]
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英语 [1]
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Ultrathin, Transferred Layers of Silicon Oxynitrides as Tunable Biofluid Barriers for Bioresorbable Electronic Systems
期刊论文
ADVANCED MATERIALS, 2024, 卷号: 36, 期号: 15
作者:
Hu, Ziying
;
Zhao, Jie
;
Guo, Hexia
;
Li, Rui
;
Wu, Mingzheng
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提交时间：2024/02/23
Biocompatibility
Degradation
Film preparation
Groundwater
Multilayers
Nitrides
Plasma CVD
Plasma enhanced chemical vapor deposition
Silicon compounds
Silicon wafers
Biofluid barrier
Biofluids
Bioresorbable
Bioresorbable electronic
Electronic Packaging
Electronics system
In-vitro
Siliconoxynitride
Transient electronics
Ultra-thin
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