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Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with Micro-Hole Inter-Etch and Sealing Process on (111) Silicon Wafer
期刊论文
MICROMACHINES, 2024, 卷号: 15, 期号: 4
作者:
Wang, Yunhao
;
Wu, Sheng
;
Wang, Wenjing
;
Wu, Tao
;
Li, Xinxin
Adobe PDF(5053Kb)
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浏览/下载:418/50
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提交时间:2024/05/11
Aluminum nitride
Anisotropic etching
Anisotropy
Corrosion
Cost effectiveness
Diaphragms
Electrodes
Fabrication
III-V semiconductors
Natural frequencies
Piezoelectricity
Silicon wafers
Ultrasonic applications
(111) wafer
Anisotropic wet etching
Cavity structure
Micro holes
Micromachined ultrasound transducers
Piezoelectric
Piezoelectric micromachined ultrasound transducer array
The scar-free 'MIS' process
Three-fold symmetry
Ultrasound transducer arrays
300 mm integration of a scalable phase change material spacer by inductively coupled plasma etching
期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2023, 卷号: 164
作者:
Fang, Wencheng
;
Zheng, Jia
;
Zhang, Jiarui
;
Li, Chengxing
;
Wang, Ruobing
Adobe PDF(9718Kb)
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收藏
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浏览/下载:308/1
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提交时间:2023/07/07
Efficiency
Inductively coupled plasma
Phase change materials
Phase change memory
Physical vapor deposition
Plasma etching
Anisotropic plasma etching
Aspect-ratio
Confined structures
Conformal deposition
Deposition technique
Heating efficiencies
Inductively coupled plasma etching
Phase-change memory
Physical vapour deposition
Reset currents
PMUT Structure Design with a Scar-Free Minimally Invasive Surgery Process on (111) Silicon Wafer
会议论文
2022 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IEEE IUS), null,Venice,ITALY, OCT 10-13, 2022
作者:
Wu, Sheng
;
Li, Wei
;
Shao, Shuai
;
Yang, Heng
;
Wu, Tao
Adobe PDF(372Kb)
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浏览/下载:516/4
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提交时间:2023/02/10
PMUT array
the scar-free 'MIS' process
(111) wafer
anisotropic wet etching
three-fold symmetry
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