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300 mm integration of a scalable phase change material spacer by inductively coupled plasma etching 期刊论文
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2023, 卷号: 164
作者:  Fang, Wencheng;  Zheng, Jia;  Zhang, Jiarui;  Li, Chengxing;  Wang, Ruobing
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Nanoscale Phase Change Material Array by Sub-Resolution Assist Feature for Storage Class Memory Application 期刊论文
NANOMATERIALS, 2023, 卷号: 13, 期号: 6
作者:  Zhang, Jiarui;  Fang, Wencheng;  Wang, Ruobing;  Li, Chengxing;  Zheng, Jia
Adobe PDF(6523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：991/305  |  提交时间：2023/04/19
Outstanding phase-change behaviors of GaGeSbTe material for phase-change memory application 期刊论文
MATERIALS RESEARCH BULLETIN, 2022, 卷号: 149
作者:  Fang, Wencheng;  Song, Sannian;  Zhao, Jin;  Li, Chengxing;  Cai, Daolin
Adobe PDF(4043Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/0  |  提交时间：2022/01/28
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