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Micromachined piezoelectric Lamb wave resonators: a review
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2023, 卷号: 33, 期号: 11
作者:
Lu, Xianzheng
;
Ren, Hao
Adobe PDF(12252Kb)
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浏览/下载：356/2
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提交时间：2023/10/16
micromachined piezoelectric Lamb wave resonators
piezoelectric resonators
resonant frequency
electromechanical coupling efficiency
quality factor
aluminum nitride
lithium niobate
An A(0) mode Lamb-wave AlN resonator on SOI substrate with vertically arranged double-electrodes
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2022, 卷号: 32, 期号: 9
作者:
Cao, Haichao
;
Lu, Xianzheng
;
Ren, Hao
Adobe PDF(1568Kb)
|
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浏览/下载：376/0
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提交时间：2022/08/15
micro-electro-mechanical systems (MEMS)
piezoelectric resonator
aluminium nitride
Lamb wave
silicon on insulator (SOI)
electromechanical coupling coefficient
Silicon-chip based electromagnetic vibration energy harvesters fabricated using wafer-level micro-casting technique
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 卷号: 31, 期号: 3, 页码: #VALUE!
作者:
Han, Ruofeng
;
Wang, Nianying
;
Wang, Jiachou
;
Gu, Jiebin
;
Li, Xinxin
Adobe PDF(2642Kb)
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浏览/下载：292/4
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提交时间：2021/04/01
energy harvesters
electromagnetic solenoids
vibration to electricity conversion
micro-casting technique
Nanomanufacturing of biopolymers using electron and ion beams
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2020, 卷号: 30, 期号: 3
作者:
Jiang, Jianjuan
;
Qin, Nan
;
Tao, Tiger H.
Adobe PDF(3486Kb)
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浏览/下载：519/0
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提交时间：2020/04/12
bionanomanufacturing
proteins
electron beam lithography
ion beam lithography
MEMS thermal gas flow sensor with self-test function
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2019, 卷号: 29, 期号: 12
作者:
Ke, Wenjian
;
Liu, Meng
;
Li, Tie
;
Wang, Yuelin
Adobe PDF(3125Kb)
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浏览/下载：434/12
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提交时间：2019/12/31
self-test
flow sensor
chip position
heater
thermopile
Design, fabrication, and characterization of a high-performance CMOS-compatible thermopile infrared detector with self-test function
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2018, 卷号: 28, 期号: 12
作者:
Ke, Wenjian
;
Wang, Yi
;
Zhou, Hong
;
Li, Tie
;
Wang, Yuelin
Adobe PDF(4395Kb)
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浏览/下载：550/2
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提交时间：2018/12/01
self-test
thermopile infrared detector
heater
high-performance
A resonant cantilever based particle sensor with particle-size selection function
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2018, 卷号: 28, 期号: 8
作者:
Bao, Yuyang
;
Cai, Shengran
;
Yu, Haitao
;
Xu, Tiegang
;
Xu, Pengcheng
Adobe PDF(5398Kb)
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浏览/下载：581/1
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提交时间：2018/06/13
particle sensor
single-sided micromachining process
particle-size filter and selection
flow micro-channel
integrated resonant cantilever
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