消息
×
loading..
×
验证码:
换一张
忘记密码？
记住我
×
统一认证登录
登录
中文版
|
English
上海科技大学知识管理系统
ShanghaiTech University Knowledge Management System
统一认证登录
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
发表日期
关键词
文献类型
DOI
出处
存缴日期
收录类别
出版者
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
知识整合
学习讨论厅
在结果中检索
研究单元&专题
信息科学与技术学院 [6]
物质科学与技术学院 [1]
作者
王跃林 [2]
李昕欣 [2]
柯文建 [2]
卢宪正 [2]
任豪 [2]
陶虎 [1]
更多...
文献类型
期刊论文 [7]
发表日期
2023 [1]
2022 [1]
2021 [1]
2020 [1]
2019 [1]
2018 [2]
更多...
出处
JOURNAL OF... [7]
语种
英语 [6]
资助项目
National K... [1]
National K... [1]
National N... [1]
National N... [1]
Project fo... [1]
Shanghai S... [1]
更多...
资助机构
收录类别
EI [7]
SCI [7]
SCIE [6]
状态
已发表 [7]
×
知识图谱
KMS
反馈留言
浏览/检索结果:
共7条，第1-7条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页：
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式：
请选择
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
题名升序
题名降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
Micromachined piezoelectric Lamb wave resonators: a review
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2023, 卷号: 33, 期号: 11
作者:
Lu, Xianzheng
;
Ren, Hao
Adobe PDF(12252Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：364/2
|
提交时间：2023/10/16
micromachined piezoelectric Lamb wave resonators
piezoelectric resonators
resonant frequency
electromechanical coupling efficiency
quality factor
aluminum nitride
lithium niobate
An A(0) mode Lamb-wave AlN resonator on SOI substrate with vertically arranged double-electrodes
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2022, 卷号: 32, 期号: 9
作者:
Cao, Haichao
;
Lu, Xianzheng
;
Ren, Hao
Adobe PDF(1568Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：381/0
|
提交时间：2022/08/15
micro-electro-mechanical systems (MEMS)
piezoelectric resonator
aluminium nitride
Lamb wave
silicon on insulator (SOI)
electromechanical coupling coefficient
Silicon-chip based electromagnetic vibration energy harvesters fabricated using wafer-level micro-casting technique
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 卷号: 31, 期号: 3, 页码: #VALUE!
作者:
Han, Ruofeng
;
Wang, Nianying
;
Wang, Jiachou
;
Gu, Jiebin
;
Li, Xinxin
Adobe PDF(2642Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：295/4
|
提交时间：2021/04/01
energy harvesters
electromagnetic solenoids
vibration to electricity conversion
micro-casting technique
Nanomanufacturing of biopolymers using electron and ion beams
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2020, 卷号: 30, 期号: 3
作者:
Jiang, Jianjuan
;
Qin, Nan
;
Tao, Tiger H.
Adobe PDF(3486Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：522/0
|
提交时间：2020/04/12
bionanomanufacturing
proteins
electron beam lithography
ion beam lithography
MEMS thermal gas flow sensor with self-test function
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2019, 卷号: 29, 期号: 12
作者:
Ke, Wenjian
;
Liu, Meng
;
Li, Tie
;
Wang, Yuelin
Adobe PDF(3125Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：441/12
|
提交时间：2019/12/31
self-test
flow sensor
chip position
heater
thermopile
Design, fabrication, and characterization of a high-performance CMOS-compatible thermopile infrared detector with self-test function
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2018, 卷号: 28, 期号: 12
作者:
Ke, Wenjian
;
Wang, Yi
;
Zhou, Hong
;
Li, Tie
;
Wang, Yuelin
Adobe PDF(4395Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：556/2
|
提交时间：2018/12/01
self-test
thermopile infrared detector
heater
high-performance
A resonant cantilever based particle sensor with particle-size selection function
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2018, 卷号: 28, 期号: 8
作者:
Bao, Yuyang
;
Cai, Shengran
;
Yu, Haitao
;
Xu, Tiegang
;
Xu, Pengcheng
Adobe PDF(5398Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：588/1
|
提交时间：2018/06/13
particle sensor
single-sided micromachining process
particle-size filter and selection
flow micro-channel
integrated resonant cantilever
首页
上一页
1
下一页
末页
