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2021 [3]
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2021 34TH ... [3]
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PHARMACEUTICAL OPTO-ELECTRO SENSING SUTURE MADE OF REGENERATED SILK PROTEIN
会议论文
2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), ELECTR NETWORK, JAN 25-29, 2021
作者:
Mengwei Liu
;
Yujia Zhang
;
Yinbo Peng
;
Tiger H. Tao
Adobe PDF(1241Kb)
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浏览/下载:477/0
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提交时间:2021/07/23
Suture
multifunctional sensor
heterogeneous hierarchical structure
real-time monitoring
A BIOINSPIRED WIRELESS EPIDERMAL PHOTORECEPTOR FOR SMART UV PROTECTION AND PHYSIOLOGICAL MONITORING
会议论文
2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), ELECTR NETWORK, JAN 25-29, 2021
作者:
Yujia Zhang
;
Mengwei Liu
;
Tiger H. Tao
Adobe PDF(2301Kb)
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收藏
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浏览/下载:266/0
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提交时间:2021/07/23
Epidermal electronics
optoelectronics
UV detection
physiological monitoring
microfluidics
Optimization of AlN and AlScN Film ICP Etching
会议论文
2021 34TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2021), ELECTR NETWORK, JAN 25-29, 2021
作者:
Zhifang Luo
;
Shuai Shao
;
Tao Wu
Adobe PDF(1221Kb)
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收藏
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浏览/下载:474/1
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提交时间:2021/07/23
Aluminum nitride
Etching
III
V semiconductors
Inductively coupled plasma
Mechanics
MEMS
Nitrides
Piezoelectricity
Resonators
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Aluminum nitride (AlN)
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Etching rate
ICP etching
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