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李昕欣 中科院特聘教授
所在学院： 信息科学与技术学院
职务： 室主任
研究方向： 微纳集成技术、微纳传感器技术、微纳机电系统技术（中科院上海微系统与信息技术研究所研究员）
备注： --
李昕欣

研究内容

主要从事微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器技术等方面的研究。