基于横向剪切干涉的器件封装气密性检测
2025-04-21
发表期刊激光与光电子学进展 (IF:0.9[JCR-2023],0.6[5-Year])
ISSN1006-4125
卷号62期号:23页码:02
发表状态正式接收
DOI10.3788/LOP250809
收录类别EI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/527152
专题物质科学与技术学院_硕士生
物质科学与技术学院_特聘教授组_吴东岷组
通讯作者吴东岷
作者单位
1.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台
2.上海科技大学物质科学与技术学院
第一作者单位物质科学与技术学院
通讯作者单位物质科学与技术学院
推荐引用方式
GB/T 7714
王进研,尹立航,王逸群,等. 基于横向剪切干涉的器件封装气密性检测[J]. 激光与光电子学进展,2025,62(23):02.
APA 王进研,尹立航,王逸群,&吴东岷.(2025).基于横向剪切干涉的器件封装气密性检测.激光与光电子学进展,62(23),02.
MLA 王进研,et al."基于横向剪切干涉的器件封装气密性检测".激光与光电子学进展 62.23(2025):02.
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