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上海同步辐射光源（SSRF）扫描透射X射线显微成像（STXM）实验站是国内首个自主研制的STXM实验系统，目前该系统波带片聚焦直接成像分辨率达到15nm，扫描相干衍射成像方法成像分辨率达到7.32nm。系统振动是影响其成像质量的主要因素。该研究针对波带片和样品之间系统振动进行分析，并提出相应的抑制策略，旨在提升STXM系统的成像质量。该研究采用激光干涉仪和现场可编程门列阵（FPGA）技术，从软件层面开发了一种针对STXM中波带片和样品位置稳定性的闭环控制系统。该控制系统在最佳条件下可将STXM系统振动的均方根值（RMS）有效控制到4.833nm，减少至原振动水平的约1/3，为STXM系统的成像质量进一步提升奠定了技术基础。