上海科技大学知识管理系统

本申请提供适于低频振动的角度偏差补偿系统、方法、设备及介质，所述系统包括：系统本体；光学元件支架，固定于所述系统本体上；所述光学元件支架上设有角度调节机构；光学元件，设于所述角度调节机构上以通过所述角度调节机构带动其进行角度调节；入射光束在经所述光学元件后发生偏转；振动传感器，设于所述系统本体上，用于探测系统的振动信号；光束抖动探测器，设于经所述光学元件后发生偏转的出射光束的出光路径上，用于探测所述出射光束的抖动信号。本发明以线性振动传感器的信号作为反馈信号，采用光学元件支架上的角度调节机构补偿光学元件的角度振动，以实现最终光斑的振动稳定性要求。