一种硅掺镓阻挡杂质带中长波红外探测器
申请号CN202120778463.6
2021-04-16
公开(公告)号CN215377427U
公开日期2021-12-31
摘要

本专利公开了一种硅掺镓阻挡杂质带中长波红外探测器。器件的结构器件自下而上依次为衬底,负电极接触层,吸收层,阻挡层,介质层,正电极接触区位于阻挡层左侧并嵌于其中,正电极位于正电极接触区上方,负电极沿着“V”型孔侧壁深及衬底。制备步骤是利用分子束外延法生长负电极接触层、吸收层和阻挡层,离子注入工艺制备正电极接触区,通过光刻、刻蚀和电子束蒸镀工艺制备正负电极,最后刻蚀光敏区氮化硅完成器件制备。利用硅掺镓作为中长波红外吸收层,本征硅作为阻挡层抑制暗电流,实现对中长波红外的高性能探测。本专利的特点是构造能级位置相对较深的镓杂质能级,制作工艺简单、工作温度高的中长波红外探测器。

公开国别CN
公开国别简称CN
IPC 分类号H01L31/0224 ; H01L31/0216 ; H01L31/101 ; H01L31/18
专利类型实用新型
当前法律状态实用新型专利权授予
授权公告日2021-12-31
授权公开(公告)号CN215377427U
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/290010
专题物质科学与技术学院_博士生
作者单位
中国科学院上海技术物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王鹏,张坤,胡伟达,等. 一种硅掺镓阻挡杂质带中长波红外探测器. CN202120778463.6[P]. 2021-04-16.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
Abstract.png(419KB)图像 限制开放--请求全文
个性服务
查看访问统计
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[王鹏]的文章
[张坤]的文章
[胡伟达]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[王鹏]的文章
[张坤]的文章
[胡伟达]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[王鹏]的文章
[张坤]的文章
[胡伟达]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。