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一种硅掺镓阻挡杂质带中长波红外探测器 | |
申请号 | CN202120778463.6 |
2021-04-16 | |
公开(公告)号 | CN215377427U |
公开日期 | 2021-12-31 |
摘要 | 本专利公开了一种硅掺镓阻挡杂质带中长波红外探测器。器件的结构器件自下而上依次为衬底,负电极接触层,吸收层,阻挡层,介质层,正电极接触区位于阻挡层左侧并嵌于其中,正电极位于正电极接触区上方,负电极沿着“V”型孔侧壁深及衬底。制备步骤是利用分子束外延法生长负电极接触层、吸收层和阻挡层,离子注入工艺制备正电极接触区,通过光刻、刻蚀和电子束蒸镀工艺制备正负电极,最后刻蚀光敏区氮化硅完成器件制备。利用硅掺镓作为中长波红外吸收层,本征硅作为阻挡层抑制暗电流,实现对中长波红外的高性能探测。本专利的特点是构造能级位置相对较深的镓杂质能级,制作工艺简单、工作温度高的中长波红外探测器。 |
公开国别 | CN |
公开国别简称 | CN |
IPC 分类号 | H01L31/0224 ; H01L31/0216 ; H01L31/101 ; H01L31/18 |
专利类型 | 实用新型 |
当前法律状态 | 实用新型专利权授予 |
授权公告日 | 2021-12-31 |
授权公开(公告)号 | CN215377427U |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/290010 |
专题 | 物质科学与技术学院_博士生 |
作者单位 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王鹏,张坤,胡伟达,等. 一种硅掺镓阻挡杂质带中长波红外探测器. CN202120778463.6[P]. 2021-04-16. |
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