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ShanghaiTech University Knowledge Management System
一种二维材料真空转移系统 | |
申请号 | CN202211257468.X |
2023-01-17 | |
公开(公告)号 | CN115610975A |
公开日期 | 2023-01-17 |
摘要 | 本发明涉及一种二维材料真空转移系统,属于材料加工制作技术领域。包括真空腔体、真空泵、显微镜、腔体外位移台和位移台控制器;真空泵与真空腔体连接;真空腔体外设有与显微镜连接的腔体外位移台;真空腔体的上端面设有上视窗,显微镜设于上视窗的上方;真空腔体中设有腔内位移台;腔内位移台上设有样品台;腔体外位移台和腔内位移台分别与位移台控制器连接。通过本发明为二维材料转移创造了一个高真空环境,从而有效改善材料与衬底的界面质量;通过使用大尺寸玻璃的上视窗和样品台,抽一次真空可转移多次以及多种材料,节省实验时间与精力;整个系统结构简单,便于组装,占用空间小。 |
当前权利人 | 上海科技大学 |
专利代理人 | 翁若莹 ; 张业民 |
代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 31001 |
专利申请人 | 上海科技大学 |
公开国别 | 中国 |
公开国别简称 | CN |
IPC 分类号 | B65G47//74; B65G69//20 |
专利有效性 | 审中 |
专利类型 | 发明申请 |
专利类型字典 | 1 |
当前法律状态 | 实质审查 |
简单同族 | CN115610975A |
扩展同族 | CN115610975A |
INPADOC 同族 | CN115610975A |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/268698 |
专题 | 物质科学与技术学院_PI研究组_李军组 物质科学与技术学院_硕士生 物质科学与技术学院_博士生 物质科学与技术学院_公共科研平台_拓扑物理实验室 |
作者单位 | 上海科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李逸飞,丁逸凡,吴越珅,等. 一种二维材料真空转移系统. CN202211257468.X[P]. 2023-01-17. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
一种二维材料真空转移系统.pdf(654KB) | 专利 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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