消息
×
loading..
一种二维材料真空转移系统
申请号CN202211257468.X
2023-01-17
公开(公告)号CN115610975A
公开日期2023-01-17
摘要本发明涉及一种二维材料真空转移系统,属于材料加工制作技术领域。包括真空腔体、真空泵、显微镜、腔体外位移台和位移台控制器;真空泵与真空腔体连接;真空腔体外设有与显微镜连接的腔体外位移台;真空腔体的上端面设有上视窗,显微镜设于上视窗的上方;真空腔体中设有腔内位移台;腔内位移台上设有样品台;腔体外位移台和腔内位移台分别与位移台控制器连接。通过本发明为二维材料转移创造了一个高真空环境,从而有效改善材料与衬底的界面质量;通过使用大尺寸玻璃的上视窗和样品台,抽一次真空可转移多次以及多种材料,节省实验时间与精力;整个系统结构简单,便于组装,占用空间小。
当前权利人上海科技大学
专利代理人翁若莹 ; 张业民
代理机构上海申汇专利代理有限公司 31001
专利申请人上海科技大学
公开国别中国
公开国别简称CN
IPC 分类号B65G47//74; B65G69//20
专利有效性审中
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态实质审查
简单同族CN115610975A
扩展同族CN115610975A
INPADOC 同族CN115610975A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/268698
专题物质科学与技术学院_PI研究组_李军组
物质科学与技术学院_硕士生
物质科学与技术学院_博士生
物质科学与技术学院_公共科研平台_拓扑物理实验室
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李逸飞,丁逸凡,吴越珅,等. 一种二维材料真空转移系统. CN202211257468.X[P]. 2023-01-17.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
一种二维材料真空转移系统.pdf(654KB)专利 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
个性服务
查看访问统计
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[李逸飞]的文章
[丁逸凡]的文章
[吴越珅]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[李逸飞]的文章
[丁逸凡]的文章
[吴越珅]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[李逸飞]的文章
[丁逸凡]的文章
[吴越珅]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。