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| 单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究 | |
| 2017-05-08 | |
| 发表期刊 | 光子学报 |
| ISSN | 11111 |
| 卷号 | 46期号:05页码:26-32 |
| 发表状态 | 已发表 |
| 摘要 | 基于印压断裂力学理论分析了磷酸二氢钾晶体表面缺陷面积与中位裂纹深度的关系.在刀具参量和主轴转数一定的情况下,采用不同切削深度和进给速率对磷酸二氢钾晶体进行单点金刚石飞切加工实验,并计算晶体表面单位面积缺陷的占比系数.实验结果表明,晶体表面缺陷深度与面积占比系数成正相关,与理论分析结果相符,进而提出了利用计算晶体表面缺陷占比系数估测缺陷深度的方法.最后基于该方法得到高效率切削步骤,并加工获得了表面粗糙度算术平均值优于5nm的超光滑晶体表面. |
| 关键词 | 非线性光学 缺陷深度估测 飞切加工 磷酸二氢钾晶体 高效率切削 |
| URL | 查看原文 |
| 收录类别 | EI ; CSCD ; 北大核心 |
| 语种 | 中文 |
| 原始文献类型 | 学术期刊 |
| 中图分类号 | O786;TQ131.13 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/255612 |
| 专题 | 物质科学与技术学院 物质科学与技术学院_特聘教授组_朱健强组 物质科学与技术学院_硕士生 |
| 作者单位 | 1.中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室; 2.中国科学院大学; 3.上海科技大学物质科学与技术学院 |
| 第一作者单位 | 物质科学与技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冉钰庭,黄宏彪,尹进,等. 单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究[J]. 光子学报,2017,46(05):26-32. |
| APA | 冉钰庭,黄宏彪,尹进,&朱健强.(2017).单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究.光子学报,46(05),26-32. |
| MLA | 冉钰庭,et al."单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究".光子学报 46.05(2017):26-32. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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