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0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响
2021-10-25
发表期刊光学学报
ISSN/
卷号41期号:20页码:225-231
发表状态已发表
摘要

近红外波长为1.064μm的激光是激光测距、自由空间光通信和空间光学遥感等应用中的主要激光光源之一。窄带滤光片是抑制背景光干扰的关键元件之一,目前大部分滤光片的半峰全宽为几纳米。本文研制了中心波长为(1064±0.05) nm、半峰全宽为0.19 nm、峰值透过率可达70.2%的带通滤光片,并考察了不同温度(100,200,300℃)退火处理后滤光片的表面形貌和光谱特性的变化。实验结果表明:滤光片的表面光滑,受退火温度的影响很小;滤光片的透射光谱随着退火温度的升高向长波方向移动,在100℃退火处理3 h的滤光片的光谱漂移量为0.03 nm,说明该滤光片可在温控条件有限的空间光学系统中使用。

关键词薄膜 亚纳米带宽滤光片 离子束溅射沉积 近红外波段 退火温度
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收录类别EI ; CSCD ; 北大核心
语种中文
原始文献类型学术期刊
中图分类号TN24
文献类型期刊论文
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/255061
专题物质科学与技术学院_博士生
物质科学与技术学院_特聘教授组_刘定权组
作者单位
1.中国科学院上海技术物理研究所;
2.上海科技大学物质学院;
3.中国科学院大学
第一作者单位上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
王凯旋,陈刚,刘定权,等. 0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响[J]. 光学学报,2021,41(20):225-231.
APA 王凯旋,陈刚,刘定权,马冲,张秋玉,&高凌山.(2021).0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响.光学学报,41(20),225-231.
MLA 王凯旋,et al."0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响".光学学报 41.20(2021):225-231.
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