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0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响 | |
2021-10-25 | |
发表期刊 | 光学学报
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ISSN | / |
卷号 | 41期号:20页码:225-231 |
发表状态 | 已发表 |
摘要 | 近红外波长为1.064μm的激光是激光测距、自由空间光通信和空间光学遥感等应用中的主要激光光源之一。窄带滤光片是抑制背景光干扰的关键元件之一,目前大部分滤光片的半峰全宽为几纳米。本文研制了中心波长为(1064±0.05) nm、半峰全宽为0.19 nm、峰值透过率可达70.2%的带通滤光片,并考察了不同温度(100,200,300℃)退火处理后滤光片的表面形貌和光谱特性的变化。实验结果表明:滤光片的表面光滑,受退火温度的影响很小;滤光片的透射光谱随着退火温度的升高向长波方向移动,在100℃退火处理3 h的滤光片的光谱漂移量为0.03 nm,说明该滤光片可在温控条件有限的空间光学系统中使用。 |
关键词 | 薄膜 亚纳米带宽滤光片 离子束溅射沉积 近红外波段 退火温度 |
URL | 查看原文 |
收录类别 | EI ; CSCD ; 北大核心 |
语种 | 中文 |
原始文献类型 | 学术期刊 |
中图分类号 | TN24 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/255061 |
专题 | 物质科学与技术学院_博士生 物质科学与技术学院_特聘教授组_刘定权组 |
作者单位 | 1.中国科学院上海技术物理研究所; 2.上海科技大学物质学院; 3.中国科学院大学 |
第一作者单位 | 上海科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王凯旋,陈刚,刘定权,等. 0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响[J]. 光学学报,2021,41(20):225-231. |
APA | 王凯旋,陈刚,刘定权,马冲,张秋玉,&高凌山.(2021).0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响.光学学报,41(20),225-231. |
MLA | 王凯旋,et al."0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响".光学学报 41.20(2021):225-231. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 |
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