基于晶体管结构的量子点近红外光电探测器及其制备方法
申请号CN202111383318.9
2022-03-29
公开(公告)号CN114256377A
公开日期2022-03-29
摘要

本发明提供了一种基于晶体管结构的量子点近红外光电探测器及其制备方法,本发明的量子点近红外光电探测器从下到上依次包括导电基底层、ZnO薄膜、红外量子点层、掺杂ZnO薄膜和金属电极。所述的量子点近红外光电探测器的制备方法,包括对导电基底层进行氧等离子体预处理,制备ZnO薄膜,制备量子点红外吸收层,制备掺杂ZnO薄膜和蒸镀金属电极。所述的量子点红外光电探测器同时具有量子效率高(800%)和低暗电流低的优点,在近红外光电探测领域具有广阔的应用前景。

当前权利人上海科技大学
专利代理人翁若莹
代理机构上海申汇专利代理有限公司 31001
专利申请人上海科技大学
公开国别CN
公开国别简称CN
IPC 分类号H01L31//108 ; H01L31//0352 ; H01L31//18
专利有效性失效
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态撤回
简单同族CN114256377A
扩展同族CN114256377A
INPADOC 同族CN114256377A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/165045
专题物质科学与技术学院_PI研究组_宁志军组
物质科学与技术学院_硕士生
物质科学与技术学院_博士生
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
宁志军,柯亮,徐凯敏. 基于晶体管结构的量子点近红外光电探测器及其制备方法. CN202111383318.9[P]. 2022-03-29.
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