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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [1]
作者
杨雨梦 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2023 [1]
出处
MATERIALS; [1]
语种
英语 [1]
资助项目
National N... [1]
Natural Sc... [1]
Shanghai T... [1]
资助机构
收录类别
EI [1]
SCI [1]
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In Situ Synchrotron XRD Characterization of Piezoelectric Al1−xScxN Thin Films for MEMS Applications
期刊论文
MATERIALS;, 2023, 卷号: 16, 期号: 5
作者:
Jiang, Wenzheng
;
Zhu, Lei
;
Chen, Lingli
;
Yang, Yumeng
;
Yu, Xi
Adobe PDF(3774Kb)
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提交时间：2023/03/24
aluminum scandium nitride
micro-electromechanical system
piezoelectric coefficient
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