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信息科学与技术学院 [1]
作者
吴涛 [1]
刘康福 [1]
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期刊论文 [1]
发表日期
2021 [1]
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MICROMACHI... [1]
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Solidly mounted longitudinally excited shear wave resonator (YBAR) based on lithium niobate thin-film
期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 9
作者:
Qin, Zhen-Hui
;
Wu, Shu-Mao
;
Wang, Yong
;
Liu, Kang-Fu
;
Wu, Tao
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提交时间：2021/12/03
Electromechanical coupling
Lithium
Lithium compounds
Niobium compounds
Resonators
Shear flow
Shear waves
Signal processing
Temperature
Electromechanical coupling coefficients
High frequency HF
Lithium niobate thin films
Low temperature drifts
Operating frequency
Shear
wave resonators
Signal processing devices
Suspended structure
YBAR
bulk acoustic resonator (BAR)
solid mounted resonator (SMR)
LiNbO3 film
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