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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [1]
作者
吴涛 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2020 [1]
出处
SENSORS [1]
语种
英语 [1]
资助项目
China''s N... [1]
Joint Fund... [1]
Natural Sc... [1]
Pre-resear... [1]
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Optimization and Fabrication of an MOEMS Gyroscope Based on a WGM Resonator
期刊论文
SENSORS, 2020, 卷号: 20, 期号: 24
作者:
Xia, Dunzhu
;
Zhang, Bing
;
Wu, Hao
;
Wu, Tao
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提交时间:2021/01/26
MOEMS gyroscope
WGM resonator
quality factor improvement
MEMS fabrication process
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