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An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate 会议论文
18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2023, Jeju, Korea, May 14, 2023 - May 17, 2023
作者:  Xianzheng Lu;  Hao Ren
Adobe PDF(549Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/0  |  提交时间：2023/09/08
Temperature Characteristics of a Contour Mode MEMS AlN Piezoelectric Ring Resonator on SOI Substrate 期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: #VALUE!
作者:  Fei, Sitao;  Ren, Hao
Adobe PDF(4732Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1007/459  |  提交时间：2021/04/01
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