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信息科学与技术学院 [1]
作者
李昕欣 [1]
王念英 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2021 [1]
出处
MICROMACHI... [1]
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Double-Deck Metal Solenoids 3D Integrated in Silicon Wafer for Kinetic Energy Harvester
期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 1, 页码: #VALUE!
作者:
Wang, Nianying
;
Han, Ruofeng
;
Chen, Changnan
;
Gu, Jiebin
;
Li, Xinxin
Adobe PDF(4631Kb)
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浏览/下载：695/274
|
提交时间：2021/04/01
kinetic energy harvester
electromagnetic electricity generation
double-deck 3D metal solenoids
MEMS technology
micro-casting technology
wafer-level fabrication
Aluminum alloys
Binary alloys
Energy harvesting
Foundries
Kinetic energy
Kinetics
MEMS
Metal casting
Metal castings
Molds
Permanent magnets
Solenoids
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Generate electricity
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